Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Leakage Current Characteristics of Ultra-Shallow Junctions formed by B2H6 Plasma Doping 
著者
和文: HENDRIANSYAH SAUDDIN, 佐々木 裕平, 守谷 仁, 水野 文二, パールハット アヘメト, 角嶋 邦之, 杉井 信之, 筒井 一生, 岩井 洋.  
英文: H. Sauddin, Y. Sasaki, H. Ito, B. Mizuno, P. Ahmet, K. Kakushima, N. Sugii, K. Tsutsui, H. Iwai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2006年10月29日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2006 Joint International Meeting of ECS 
開催地
和文: 
英文:Cancun, 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.