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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Leakage Current Characteristics of Ultra-Shallow Junctions formed by B2H6 Plasma Doping
著者
和文:
HENDRIANSYAH SAUDDIN
,
佐々木 裕平
,
守谷 仁
,
水野 文二
,
パールハット アヘメト
,
角嶋 邦之
,
杉井 信之
,
筒井 一生
,
岩井 洋
.
英文:
H. Sauddin
,
Y. Sasaki
,
H. Ito
,
B. Mizuno
,
P. Ahmet
,
K. Kakushima
,
N. Sugii
,
K. Tsutsui
,
H. Iwai
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2006年10月29日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
2006 Joint International Meeting of ECS
開催地
和文:
英文:
Cancun,
©2007
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