Electrical Characteristics of High-k La2O3 Thin Film Deposited by E-Beam Evaporation Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Characteristics of High-k La2O3 Thin Film Deposited by E-Beam Evaporation Method

著者

和文:	Y. Kim, A. Kuriyama, I. Ueda, 大見俊一郎, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	Y. Kim, A. Kuriyama, I. Ueda, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2003年10月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	204th ECS symposium

開催地

和文:
英文:	Florida, Orlando