TixOy薄膜の一軸加圧熱処理による固相エピタキシーと構造･物性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	TixOy薄膜の一軸加圧熱処理による固相エピタキシーと構造･物性評価
英文:	Solid-phase epitaxy, structural and property characterization of titanium oxide thin films by uniaxial compressive annealing

著者

和文:	生田貴大, 堀松芳樹, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Takahiro Ikuta, Yoshiki Horimatsu, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年2月28日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 67th JSAP Spring Meeting 2020

開催地

和文:	東京都
英文:	Tokyo

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