一軸加圧熱処理による酸化チタン薄膜の固相結晶化と光学･導電特性変化

論文・著書情報

タイトル

和文:	一軸加圧熱処理による酸化チタン薄膜の固相結晶化と光学･導電特性変化
英文:	Solid state crystallization of titanium oxide thin films, and modification of their optical and electric properties by post-depositional uniaxial compressive annealing

著者

和文:	生田貴大, 久富翔平, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Takahiro Ikuta, Shohei Hisatomi, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年8月26日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第81回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 81st JSAP Autumn Meeting 2020

開催地

和文:	京都市
英文:	Kyoto

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