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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of the microstructures of Yttria Coatings on their Fluorination Behavior in Fluorine-based Plasma 
著者
和文: 芦澤 宏明, 吉田 克己.  
英文: Hiroaki Ashizawa, Katsumi Yoshida.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年11月22日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:41st International Symposium on Dry Process (DPS2019) 
開催地
和文:広島 
英文:Hiroshima 

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