Suppression of Sulfur Desorption of High-Temperature Sputtered MoS2 Film by Applying DC Bias

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Suppression of Sulfur Desorption of High-Temperature Sputtered MoS2 Film by Applying DC Bias

著者

和文:	Y. Hibino, S. Ishihara, Y. Oyanagi, N. Sawamoto, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, A. Ogura.
英文:	Y. Hibino, S. Ishihara, Y. Oyanagi, N. Sawamoto, T. Ohashi, K. Matsuura, H. Wakabayashi, A. Ogura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

vol. 85 no. 13 531

出版年月

2018年5月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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