Fabrication of WS2 Film by DC Bias Applied High-Temperature Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of WS2 Film by DC Bias Applied High-Temperature Sputtering

著者

和文:	Y. Oyanagi, Y. Hibino, S. Ishihara, N. Sawamoto, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, A. Ogura.
英文:	Y. Oyanagi, Y. Hibino, S. Ishihara, N. Sawamoto, T. Ohashi, K. Matsuura, H. Wakabayashi, A. Ogura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
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