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論文・著書情報


タイトル
和文:表面クリーニング用大気圧アルゴンプラズマジェットの発光分光計測による電子温度・電子密度診断 
英文:Electron temperature and density diagnostics of the atmospheric pressure argon plasma jet for surface cleaning based on optical emission spectroscopic measurement 
著者
和文: 山下 雄也, 秋葉 拓也, 岩永 敏秀, 山岡 英彦, 伊達 修一, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Takuya Akiba, Toshihide Iwanaga, Hidehiko Yamaoka, Shuichi Date, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第68回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:The Extended Abstract of the 68th JSAP Spring Meeting 2021 
巻, 号, ページ     No. 8.1    p. 07-043
出版年月 2021年2月26日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:2021年第68回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 68th JSAP Spring Meeting 2021 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2021s/subject/18p-Z17-1/tables?cryptoId=
 
アブストラクト ウエハ表面クリーニング用途に使用される大気圧アルゴンプラズマジェットの電子温度及び電子密度を診断した．上準位4p’[3/2]1，4p’[1/2]1，4p[1/2]0，4p’[1/2]0の発光線に基づいて算出した励起準位数密度分布を，衝突輻射モデルから求めた理論値とフィッテングして診断を行った．放電管の下流になるにつれて，電子温度，電子密度ともに低下した．

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