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論文・著書情報


タイトル
和文:低気圧Arプラズマの励起状態密度に与える酸素分子混入効果の衝突輻射モデルに基づく考察 
英文:Effect of Oxygen Admixture on Excited-State Number Densities of Low-Pressure Argon Plasma Based on Collisional Radiative Model 
著者
和文: 土谷裕介, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Yusuke Tsuchiya, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第68回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 68th JSAP Spring Meeting 2021 
巻, 号, ページ     no. 8.1    p. 07-052
出版年月 2021年2月26日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:2021年第68回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 68th JSAP Spring Meeting 2021 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2021s/subject/18p-Z17-9/tables?cryptoId=
 
アブストラクト 衝突輻射モデル（以下，CRモデル）に基づき，プラズマの電子温度・密度を非侵襲的に診断する方法は，原則として可能である．しかし，実際のプロセスプラズマにおいては，プロセスガス混入による励起状態への影響が懸念される．そこで本研究では，プロセスプラズマにしばしば用いられる低気圧Arプラズマについて，酸素分子混入を想定した損失項をArCRモデルに組み込むことで，励起状態数密度に生じる影響を理論計算により考察した．

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