Thermal Resistance Reduction of GaInAsP/Si Membrane Laser bonded by Room Temperature Si-nano-film Assisted Surface Activated Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal Resistance Reduction of GaInAsP/Si Membrane Laser bonded by Room Temperature Si-nano-film Assisted Surface Activated Bonding

著者

和文:	FangWeicheng, 高橋直樹, 大磯義孝, WANGWeiqi, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Yoshitaka Ohiso, Weiqi Wang, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年5月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Compound Semiconductor Week 2021

開催地

和文:
英文:	Stockholm