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論文・著書情報


タイトル
和文:表面弾性波共振器を用いた極低温環境における水晶基板の欠陥評価 
英文: 
著者
和文: 平山 勝登, 中村 秀司, 岡崎 雄馬, 高田 真太郎, 金子 晋久, 小寺 哲夫.  
英文: Masaru Hirayama, 中村 秀司, 岡崎 雄馬, 高田 真太郎, 金子 晋久, Tetsuo Kodera.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年9月10日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
和文: 
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