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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of electron energy distribution function on spectroscopic measurement of excited-state densities of non-equilibrium argon plasma 
著者
和文: 工月佑太, 根津篤, 赤塚洋.  
英文: Yuta Kuzuki, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceedings of 42nd International Symposium on Dry Process 
巻, 号, ページ         pp. 63-64
出版年月 2021年11月18日 
出版者
和文: 
英文:Program Committee of 42nd International Symposium on Dry Process 
会議名称
和文: 
英文:42nd International Symposium on Dry Process 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク http://www.dry-process.org/2021/poster_program.html
 
アブストラクト The effect of the electron energy distribution function on the emission spectroscopy was investigated in two ways, assuming a Maxwellian electron energy distribution and using the distribution function obtained from the probe measurement. As a result, the distribution function obtained from the probe measurement gives the closer excited-state densities to the result of the emission spectroscopy.

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