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論文・著書情報


タイトル
和文:アモルファス炭窒化ホウ素膜の構造および機械的特性評価と体系化 
英文: 
著者
和文: 平田祐樹.  
英文: Yuki Hirata.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:セラミックデーターブック 2021/22 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 49    No. 103    pp. 112
出版年月 2021年12月 
出版者
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会議名称
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開催地
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