アルゴン-酸素低気圧誘導結合プラズマのOHラジカルの振動温度・回転温度の診断

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルゴン-酸素低気圧誘導結合プラズマのOHラジカルの振動温度・回転温度の診断
英文:	Diagnostics of vibrational and rotational temperature of OH radical of argon-oxygen low pressure inductively coupled plasma

著者

和文:	山下雄也, 伊達修一, 山岡英彦, 秋葉拓也, 澁谷孝幸, 岩永敏秀, 赤塚洋.
英文:	Yuya Yamashita, Shuichi Date1, Hidehiko Yamaoka, Takuya Akiba, Takayuki Shibuya, Toshihide Iwanaga, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended abstracts of the 69th JSAP Spring Meeting 2022

巻, 号, ページ

p. 7-009

出版年月

2022年2月25日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 69th JSAP Spring Meeting 2022

開催地

和文:	相模原
英文:	Sagamihara

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