Si含有DLC膜のX線吸収微細構造測定による構造解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si含有DLC膜のX線吸収微細構造測定による構造解析
英文:	Structural analysis of Si-containing DLC films using X-ray Absorption Fine Structure

著者

和文:	寺井響, 中西康次, 新部正人, 神田一浩, 赤坂大樹.
英文:	Hibiki Terai, Koji Nakanishi, Masahito Niibe, Kazuhiro Kanda, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月22日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	応用物理学会第69回春季講演会
英文:	The Japan Society of Applied Physics The 69th Spring Meeting

開催地

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