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論文・著書情報


タイトル
和文:エキシマレーザーアニーリングを用いたポリマー基板上におけるGa2O3薄膜の固相結晶化 
英文: 
著者
和文: 甲斐 稜也, 渡邉 一樹, 大賀 友瑛, 金子 智, 松田 晃史, 吉本 護.  
英文: Ryoya Kai, Kazuki Watanabe, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年9月22日 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:第82回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:愛知県名古屋市 
英文: 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2021a/top
 

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