Excimer Laser Crystallization and Doping of Epitaxial Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films for Ultraviolet Optoelectronics Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Excimer Laser Crystallization and Doping of Epitaxial Ga₂O₃ Thin Films for Ultraviolet Optoelectronics Devices

著者

和文:	渡邉一樹, 甲斐稜也, 金子奈帆, 久富翔平, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Kazuki Watanabe, Ryoya Kai, Naho Kaneko, Shohei Hisatomi, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年12月6日

出版者

和文:
英文:	Materials Research Society

会議名称

和文:
英文:	2021 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:	ボストン
英文:	Boston

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