First-principles and thermodynamic analysis for gas phase reactions and structures of the SiC(0001) surface under conventional CVD and Halide CVD environments

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	First-principles and thermodynamic analysis for gas phase reactions and structures of the SiC(0001) surface under conventional CVD and Halide CVD environments

著者

和文:	長川健太, 醍醐佳明, 水島一郎, 依田孝, 白石賢二.
英文:	Kenta Chokawa, Yoshiaki Daigo, Ichiro Mizushima, Takashi Yoda, Kenji Shiraishi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 60 085503-1

出版年月

2021年8月10日

出版者

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会議名称

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開催地

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英文: