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論文・著書情報


タイトル
和文:種々の電極を用いた(Al1-x,Scx)N薄膜の強誘電性評価 
英文: 
著者
和文: 大田怜佳, 安岡慎之介, 水谷涼一, 白石貴久, 舟窪浩.  
英文: Reika Ota, Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Takahisa Shiraishi, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月22日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第69回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:相模原市 
英文: 

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