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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:On the Vertically Stacked Gate-All-Around Nanosheet and Nanowire Transistor Scaling beyond the 5 nm Technology Node 
著者
和文: Hei Wong, 角嶋邦之.  
英文: Hei Wong, Kuniyuki KAKUSHIMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Nanomaterials 
巻, 号, ページ 12    10    1739
出版年月 2022年5月19日 
出版者
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会議名称
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開催地
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