Observation of ferroelectricity in atomic layer deposited AlN film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Observation of ferroelectricity in atomic layer deposited AlN film

著者

和文:	Sho Sasaki, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Sho Sasaki, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Kuniyuki Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Dierectric Thin Films for Futre Electron Devices -Science and Technology-

開催地

和文:
英文: