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論文・著書情報


タイトル
和文:大電力パルススパッタリング法を用いたナノ粒子合成の基礎検討 
英文: 
著者
和文: 堀 智貴, 桃園 聡, 平田 敦, 青野祐子.  
英文: Tomoki Hori, Satoshi MOMOZONO, ATSUSHI HIRATA, Yuko Aono.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 82-83
出版年月 2022年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2022年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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