Comparative study on the film properties of 3-dimensional ta-C films prepared by CVD and FCVA coating processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Comparative study on the film properties of 3-dimensional ta-C films prepared by CVD and FCVA coating processes

著者

和文:	平田祐樹, 川合功太郎, 加藤豊大, Hayata Fujimoto, Yuto Tameno, Takumi Ishikawa, Hiroshige Matsuoka, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yuki Hirata, Kotaro Kawai, Toyohiro Kato, Hayata Fujimoto, Yuto Tameno, Takumi Ishikawa, Hiroshige Matsuoka, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	32nd International Conference on Diamond and Carbon Materials

開催地

和文:
英文:	Lisbon