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論文・著書情報


タイトル
和文:プラズマエッチング装置に用いられるシール用FKM のラジカル劣化における応力の影響 
英文: 
著者
和文: 和田 侑馬, Kurniawan Winarto, 家泉 直文, 田窪 毅, 山本 哲也, 久保内 昌敏.  
英文: Yuma Wada, Kurniawan Winarto, Kubouchi Masatoshi, 田窪 毅, Tetsuya Yamamoto, MASATOSHI KUBOUCHI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第53回化学工学会秋季大会 講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年9月12日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第53回化学工学会秋季大会 
英文:CEJ 53nd Autumn Meeting 
開催地
和文:長野 
英文: 

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