ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成
英文:	Periodic patterning of thin films on polymer substrates by using nanoimprinting

著者

和文:	島田侑果, 前田優斗, 大賀友瑛, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
英文:	Yuka Shimada, Yuto Maeda, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月23日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

開催地

和文:	宮城県仙台市
英文:	Sendai

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