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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Characteristic Variabilities of Subnanometer EOT La2O3 Gate Dielectric Film of Nano CMOS Devices 
著者
和文: Hei Wong, Jieqiong Zhang, 岩井洋, 角嶋邦之.  
英文: Hei Wong, Jieqiong Zhang, HIROSHI IWAI, Kuniyuki KAKUSHIMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Nanomaterials 
巻, 号, ページ Vol. 11    No. 8   
出版年月 2021年8月20日 
出版者
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会議名称
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開催地
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