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論文・著書情報


タイトル
和文:シリコンフォトニクス技術を用いた 集積フォトニクスプラットホームの構築 
英文:Silicon Photonics Platform for Large-scale Device Integration 
著者
和文: 堀川剛.  
英文: Tsuyoshi Horikawa.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会誌 = The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 
英文:The journal of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 
巻, 号, ページ Vol. 105    No. 11    pp. 1299-1306
出版年月 2022年11月1日 
出版者
和文:電子情報通信学会 
英文:The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers 
会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://www.journal.ieice.org/summary.php?id=k105_11_1299&year=2022&lang=J
 
アブストラクト シリコンフォトニクス技術による種々の光機能を大規模光回路に集積するためには，各機能デバイスの設計・プロセス・検証を連携させ，プラットホーム技術として統合する必要がある．我々は，ArF 液浸露光などの40 nm 世代CMOS技術，300 mm 径SOI，ゲルマニウムエピタキシャル成長装置，光ウェーハプロービングシステムを用いたプロセス制御，及び統合的な設計ライブラリにより，世界最高の低伝搬損導波路，波長確度の高いフィルタ素子，高速変調器・受光器等の再現性の高い集積を可能とするプラットホーム技術を確立した．

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