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論文・著書情報


タイトル
和文:発光分光診断による CF B−X 遷移の振動温度の推定 
英文:Estimation of Vibrational Temperature of CF B-X System by Optical Emission Spectroscopic Diagnostics 
著者
和文: 小林 明, 山下 雄也, 砂川 晃伯, 米田 和真, 清田 哲司, 土居 謙太, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Akira Kobayashi, Yuya Yamashita, Kohaku Sunakawa, Kazuma Yoneda, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended abstracts of the 70th JSAP Spring Meeting 2023 
巻, 号, ページ         07-002
出版年月 2023年 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physcs 
会議名称
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 70th JSAP Spring Meeting 2023 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2023s/subject/15p-B309-2/tables?cryptoId=
 
アブストラクト エッチングに多用される CF4/O2 プラズマにおいて，処理条件の効率的な設計に資するために，プラズマのマクロパラメータと，装置パラメータの相関を得ることが求められている．本研究では，発光分光計測により得られた発光スペクトルに対してボルツマン分布を仮定し計算した CF B−X 遷移の理論スペクトルをフィッティングすることで，振動温度 Tv を推定した．

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