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論文・著書情報


タイトル
和文:トモグラフィック発光分光計測による窒素誘導結合プラズマの振動温度・回転温度の空間分布診断 
英文:Diagnosis of Spatial Distribution of Vibrational and Rotational Temperatures of Nitrogen Inductively Coupled Plasma by Tomographic Optical Emission Spectroscopic Measurement 
著者
和文: 米田 和真, 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 浅川 慶一郎, 石 健太, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Kazuma Yoneda, Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Keiichiro Asakawa, Kenta Ishi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended abstracts of the 70th JSAP Spring Meeting 2023 
巻, 号, ページ         07-008
出版年月 2023年2月27日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physcs 
会議名称
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 70th JSAP Spring Meeting 2023 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2023s/subject/15p-B309-7/tables?cryptoId=
 
アブストラクト 分子性ガス特有の放電について理解を深めるために、その代表例である窒素プラズマの特性を調べることは重要である。半導体エッチングなどのプラズマプロセスに応用される誘導結合プラズマにおいては、ガス温度に近似される回転温度の空間分布を把握する必要がある。本研究では、窒素誘導結合プラズマを対象にトモグラフィック発光分光計測を実施した。スペクトルフィッティングによりN2・N2+の振動・回転温度の空間分布を診断した。

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