Effects of Annealing on Thermal Boundary Resistance of Low-k Interlayer Dielectrics

論文・著書情報

タイトル

和文:	Low-k 層間絶縁膜の界面熱抵抗に与えるアニーリング処理の効果
英文:	Effects of Annealing on Thermal Boundary Resistance of Low-k Interlayer Dielectrics

著者

和文:	徐茂, 曹志, 沖野晃俊, ジャン天卓.
英文:	Mao Xu, Zhi Cao, Akitoshi Okino, Tianzhuo Zhan.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended abstracts of the 70th JSAP spring meeting

巻, 号, ページ

16p-A403-18

出版年月

2023年3月16日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	The 70th JSAP Spring Meeting 2023
英文:

開催地

和文:
英文:	Tokyo

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