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論文・著書情報


タイトル
和文:大気圧低温プラズマによるシリコン親水化処理に与える周辺ガスの影響 
英文: 
著者
和文: 日原弘喜, 山内素明, 沖野晃俊, 西山伸彦.  
英文: Koki Hihara, Motoaki Yamauchi, AKITOSHI OKINO, Nobuhiko Nishiyama.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年12月2日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:令和4年(2022年)放電学会 年次大会 
英文: 
開催地
和文:東京都世田谷区玉堤1-28-1 
英文: 

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