Single-electron transistor operation of a physically defined silicon quantum dot device fabricated by electron beam lithography employing negative-tone resist,

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Single-electron transistor operation of a physically defined silicon quantum dot device fabricated by electron beam lithography employing negative-tone resist,

著者

和文:	西山伸平, K. Kato, Y. Liu, 溝口来成, 米田淳, 小寺哲夫, T. Mori.
英文:	S. Nishiyama, K. Kato, Y. Liu, R. Mizokuchi, J. Yoneda, T. Kodera, T. Mori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年7月

出版者

和文:
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会議名称

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英文:	2022 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices

開催地

和文:
英文: