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論文・著書情報


タイトル
和文:希土類酸化物キャッピングによるY:HfO2キャパシタの信頼性改善 
英文: 
著者
和文: 水谷 一翔, 星井 拓也, 川那子 高暢, 宗田 伊理也, 若林 整, 筒井 一生, 角嶋 邦之.  
英文: Kazuto Mizutani, Takuya Hoshii, Takamasa Kawanago, Iriya Muneta, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年9月21日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第83回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:83th JSAP Autumn meeting 
開催地
和文:仙台市 
英文: 

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