Fabrication and current-drive of SiGe/Si &#39;Micro-origami&#39; epitaxial MEMS device on SOI substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:	Fabrication and current-drive of SiGe/Si 'Micro-origami' epitaxial MEMS device on SOI substrate
英文:	Fabrication and current-drive of SiGe/Si 'Micro-origami' epitaxial MEMS device on SOI substrate

著者

和文:	Tokuda, T, Sakano, Y, Mori, D, Ohta, J, Nunoshita, M, Vaccaro, PO, Vorob'ev, A, Kubota, K, Saito, N, 德田崇.
英文:	Tokuda, T, Sakano, Y, Mori, D, Ohta, J, Nunoshita, M, Vaccaro, PO, Vorob'ev, A, Kubota, K, Saito, N, Takashi Tokuda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Electronics Letters
英文:	Electronics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 40 No. 21 pp. 1333-1334

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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