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論文・著書情報


タイトル
和文:p/n半導性制御のための不純物ドープβ-Ga2O3薄膜の室温固相結晶化に向けたエキシマレーザーアニールプロセスの検討 
英文: 
著者
和文: 沼田拓実, 甲斐稜也, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.  
英文: Takumi Numata, Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2023年2月27日 
出版者
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会議名称
和文:第70回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
和文:東京 
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公式リンク https://meeting.jsap.or.jp/jsap2023s/
 

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