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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタの低パワー化によるMoS2薄膜のキャリヤ濃度低減 
英文: 
著者
和文: 坂本 拓朗, 大橋 匠, 松浦 賢太朗, 宗田 伊理也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 若林 整.  
英文: Takuro Sakamoto, Takumi Ohashi, Kentaro Matsuura, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月20日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 

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