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タイトル
和文:Interface state density of atomic layer deposited AI2O3 on J3-Gai03 
英文:Interface state density of atomic layer deposited AI2O3 on J3-Gai03 
著者
和文: Su, C.Y., Hoshii, T., Muneta, I., Wakabayashi, H., Tsutsui, K., Iwai, H., Kakushima, K., 星井拓也.  
英文: Su, C.Y., Hoshii, T., Muneta, I., Wakabayashi, H., Tsutsui, K., Iwai, H., Kakushima, K., Takuya Hoshii.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文:ECS Transactions 
英文:ECS Transactions 
巻, 号, ページ Vol. 85    No. 7    pp. 27-30
出版年月 2018年 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85050241793&partnerID=MN8TOARS
 

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