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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabrication and Characterization CoZrO Films Deposited by Facing Targets Reactive Sputtering for Micromagnetic Inductors 
著者
和文: 仁田 帆南, 高村 陽太, 金子 忠幸, 中川 茂樹.  
英文: H. Nitta, Y. Takamura, T. Kaneko, S. Nakagawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE Magn. Lett. 
巻, 号, ページ vol. 14        pp. 1-5
出版年月 2023年9月28日 
出版者
和文: 
英文:IEEE 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク https://ieeexplore.ieee.org/document/10266663
 
DOI https://doi.org/10.1109/LMAG.2023.3320495

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