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論文・著書情報


タイトル
和文:PECVDおよびFCVA成膜法による三次元部材へのDLC成膜と特性評価 
英文: 
著者
和文: 為野悠人, 平田祐樹.  
英文: 為野悠人, Yuki Hirata.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:メカニカル・サーフェス・テック 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年12月 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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