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論文・著書情報


タイトル
和文:HfO2・Y2O3積層膜の作製と強誘電性の評価 
英文: 
著者
和文: 北原惟晶, 安原 颯, 保科 拓也.  
英文: Tadaaki Kitahara, Sou Yasuhara, Takuya Hoshina.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2023年11月9日 
出版者
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会議名称
和文:第43回 電子材料研究討論会 
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開催地
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