Epitaxial Growth of Ultrawide Bandgap β-(ScxGa1–x)2O3 Films on β-Ga2O3 (100) Substrate by Pulsed-Laser Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial Growth of Ultrawide Bandgap β-(ScxGa1–x)2O3 Films on β-Ga2O3 (100) Substrate by Pulsed-Laser Deposition

著者

和文:	是石和樹, 相馬拓人, 大友明.
英文:	Kazuki Koreishi, Takuto Soma, Akira Ohtomo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Material Research Meeting 2023 (MRM2023)

開催地

和文:
英文:	Kyoto