Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film

論文・著書情報

タイトル

和文:	Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film
英文:	Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film

著者

和文:	KimByunggi, Iida, R., Doan, D.H., 伏信一慶.
英文:	Byunggi Kim, Iida, R., Doan, D.H., KAZUYOSHI FUSHINOBU.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	International Journal of Heat and Mass Transfer
英文:	International Journal of Heat and Mass Transfer

巻, 号, ページ

Vol. 107 pp. 829-835

出版年月

2017年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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