Mechanism of TCO thin film removal process using near-infrared ns pulse laser: Plasma shielding effect on irradiation direction

論文・著書情報

タイトル

和文:	Mechanism of TCO thin film removal process using near-infrared ns pulse laser: Plasma shielding effect on irradiation direction
英文:	Mechanism of TCO thin film removal process using near-infrared ns pulse laser: Plasma shielding effect on irradiation direction

著者

和文:	KimByunggi, Iida, R., Doan, H.D., 伏信一慶.
英文:	Byunggi Kim, Iida, R., Doan, H.D., KAZUYOSHI FUSHINOBU.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	International Journal of Heat and Mass Transfer
英文:	International Journal of Heat and Mass Transfer

巻, 号, ページ

Vol. 102 pp. 77-85

出版年月

2016年

出版者

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会議名称

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開催地

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