Synthesis and characteristics of maleic anhydride-based photopolymers with pendant POSS groups for negative tone photoresists

論文・著書情報

タイトル

和文:	Synthesis and characteristics of maleic anhydride-based photopolymers with pendant POSS groups for negative tone photoresists
英文:	Synthesis and characteristics of maleic anhydride-based photopolymers with pendant POSS groups for negative tone photoresists

著者

和文:	Haruka Onoda, 高橋明, Nobuhito Ito, Kazuya Sato, Atsushi Kameyama.
英文:	Haruka Onoda, Akira Takahashi, Nobuhito Ito, Kazuya Sato, Atsushi Kameyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Journal of Photopolymer Science and Technology
英文:	Journal of Photopolymer Science and Technology

巻, 号, ページ

出版年月

2023年6月15日

出版者

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会議名称

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開催地

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