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論文・著書情報
タイトル
和文:
TMDC膜質のIn-situ-ALD-Al2O3カバー成膜時基板温度依存性
英文:
著者
和文:
布施太翔
,
松永尚樹
,
岡村俊吾
,
黒原啓太
,
伊東壮真
,
野澤俊輔
,
白倉孝典
,
若林整
.
英文:
Taiga Fuse
,
Naoki Matsunaga
,
Shungo Okamura
,
Keita Kurohara
,
Soma Ito
,
Shunsuke Nozawa
,
Takanori Shirokura
,
Hitoshi Wakabayashi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2024年9月20日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第85回 応用物理学会秋季学術講演会
英文:
開催地
和文:
英文:
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