Surface patterning of wide-gap semiconducting β-Ga2O3 thin films by area selective crystallization via room-temperature excimer laser annealing and low toxic wet-etching processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface patterning of wide-gap semiconducting β-Ga2O3 thin films by area selective crystallization via room-temperature excimer laser annealing and low toxic wet-etching processes

著者

和文:	塩尻大士, 甲斐稜也, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Daishi Shiojiri, Ryoya Kai, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Express

巻, 号, ページ

Volume 18 Number 1

出版年月

2025年1月27日

出版者

和文:
英文:	IOP Publishing

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI