Crystal orientation of epitaxial film deposited on silicon surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystal orientation of epitaxial film deposited on silicon surface

著者

和文:	金子智, 徳増崇, 安井学, 黒内正仁, 塩尻大士, 安原重雄, Sumanta Kumar Sahoo, Musa Mutlu Can, Ruei Sung Yu, Kripasindhu Sardar, Masahiro Yoshimura, 東正樹, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Satoru Kaneko, Takashi Tokumasu, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Daishi Shiojiri, Shigeo Yasuhara, Sumanta Kumar Sahoo, Musa Mutlu Can, Ruei Sung Yu, Kripasindhu Sardar, Masahiro Yoshimura, Masaki Azuma, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Scientific Reports

巻, 号, ページ

14 1 10891

出版年月

2024年5月13日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI