Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	Pt下部電極の膜厚がAlScNの膜特性に及ぼす影響
英文:	Influence of thickness for Pt bottom electrode on film properties of AlScN

著者

和文:	道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.
英文:	Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Yoshiko Nakamura, Kazuki Okamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

24a-12H-2

出版年月

2024年3月24日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 71st JSAP Spring Meeting

開催地

和文:
英文: