FeRAM向け (Al,Sc)N膜における強誘電特性の膜厚依存性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	FeRAM向け (Al,Sc)N膜における強誘電特性の膜厚依存性評価
英文:	Evaluation of thickness dependence on ferroelectricity in (Al,Sc)N-based FeRAM

著者

和文:	道古宗俊, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, Nana Sun, 中村美子, 岡本一輝, 舟窪浩.
英文:	Soshun Doko, Naoko Matsui, Toshikazu Irisawa, Koji Tsunekawa, Nana Sun, Yoshiko Nakamura, Kazuki Okamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

18a-B3-5

出版年月

2024年9月18日

出版者

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会議名称

和文:	第85回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 85th JSAP Autumn Meeting

開催地

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