Effect of Ce/(Hf+Ce) ratio on ferroelectric and piezoelectric properties of thick xCeO2-(1-x)HfO2 films deposited by sputtering method without substrate heating

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Ce/(Hf+Ce) ratio on ferroelectric and piezoelectric properties of thick xCeO2-(1-x)HfO2 films deposited by sputtering method without substrate heating

著者

和文:	CHEN YU-TA, 岡本一輝, 下野園航平, 茶谷那知, Nana Sun, 中畑美紀, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, 舟窪浩.
英文:	Yu-Ta Chen, Kazuki Okamoto, Kohei Shimonosono, Nachi Chaya, Nana Sun, Miki Nakahata, Wakiko Yamaoka, Yukari Inoue, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月21日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第44回電子材料研究討論会
英文:

開催地

和文:	神奈川
英文: